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摘要:低温等离子体由于能提供一般矿物燃料所不能提供的高温、可控气氛、高纯度,且容易实现自动化控制,因此,许多国家都在化工、冶金、机械加工、半导体等工艺过程中开展了大量的等离子体技术应用研究,有的已成为成熟的工艺,苏联西伯利亚储藏着极丰富的矿物燃料资源,但距离工业发达的苏联欧洲部分遥远,据估计,如果苏联欧洲部分的工业全部用
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