微电子机械系统和流体流动

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名

邮箱

手机号码

标题

留言内容

验证码

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS)AND FLUID FLOWS

摘要

摘要:出现于８０年代后期的微机械工艺技术可提供微米尺度的传感器和致动器．这些微型转换器与信号调节和处理电路集成后，组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统（ＭＥＭＳ）．这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的领域．另一方面，由于微米尺度结构中表面积与体积之比很大，在流体流经这些微小机械器件时，表面效应占据了主导地位．为此需要重新审视动量方程中的各类表面力项．由于它们非常小，气体流动具有很大的Ｋｎｕｄｓｅｎ数，所以边界条件也应加以修正．总之，微电子机械系统（ＭＥＭＳ）不但是一项实用技术，也为流动机理的基础研究提出了许多挑战．
- 流动控制/
- 微电子机械系统（MEMS）/
- 微转换
Abstract:The micromachining technology that emerged in the late 1980s is able to provide microsized sensors and actuators. These micro transducers can be integrated with signal conditioning and processing circuitry to form microelectromechanical systems (MEMS) that can perform realtime distributed control. This capability opens up new territory for flow control research. However, because of the large surfacetovolume ratio in micronscale configurations, surface effects dominate the fluid flowing through thes...
- flow control/
- MEMS/
- micro transducer

点击查看大图