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铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能

郑学军,周益春,杨芝茵

文章导航> 力学进展> 2003> 33(2): 227-238

郑学军, 周益春, 杨芝茵. 铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能[J]. 力学进展, 2003, 33(2): 227-238. doi: 10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052

引用本文:

郑学军, 周益春, 杨芝茵. 铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能[J]. 力学进展, 2003, 33(2): 227-238.doi:10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052

郑学军, 周益春, 杨芝茵. 铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能[J]. 力学进展, 2003, 33(2): 227-238. doi: 10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052

引用本文:

郑学军, 周益春, 杨芝茵. 铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能[J]. 力学进展, 2003, 33(2): 227-238.doi:10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052

铅基压电薄膜材料的制备、微结构与性能

doi:10.6052/1000-0992-2003-2-J2002-052

湘潭大学基础力学与材料工程研究所

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出版历程
- 刊出日期:2003-05-25

摘要

摘要:随着微电子技术的发展和高度集成化的趋势，压电薄膜材料愈来愈受到人们的重视.本文对铅基类压电薄膜材料的研究进展进行了评述，主要讨论了：(1) 两种主要制备方法：脉冲激光熔融法(PLD)和溶胶凝胶法(Sol-Gel); (2) 压电薄膜微观结构的表征，如畴结构，薄膜材料与大块材料的差别等；(3) 压电薄膜材料力学、电学及相互耦合性能的评价参数，薄膜处理过程的相变和残余应力和破坏特征.最后提出了人们可能关注的一些问题.
- 铅基压电薄膜/
- 脉冲激光法/
- 溶胶凝胶法/
- 微观结构/
- 性能

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